ISO 22278:2020

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam

Publication date: 24 gush 2020

General information

Current stage: 90.20 Effective date: 15 korr 2025

Originator: ISO

Owner: ISO/TC 206

Type: International Standard

ICS: 81.060.30

Gjuha: anglisht

Buying

Statusi: Publikuar

PDF - 17 526 Lekë

Paper - 17 526 Lekë

CD - 17 526 Lekë

Language

Language in which you want to receive the document.

Scope

This document specifies the test method for measuring the crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using the XRD method with parallel X-ray beam. This document is applicable to all of the single-crystal thin film (wafer) as bulk or epitaxial layer structure.

Life cycle

NOW

PUBLISHED
ISO 22278:2020
90.20 Standard under periodical review
15 korr 2025

Preview

Vetëm seksionet informative të projekteve janë në dispozicion të publikut. Për të parë përmbajtjen e plotë, do t'ju duhet të krijoni një llogari. Nëse jeni anëtar, ju lutemi hyni në llogarinë tuaj duke klikuar në butonin "Identifikohu".