Specifikime gjeometrike të produktit (GPS) - Cilësia e sipërfaqes: Areal - Pjesa 604 : Karakteristikat nominale të instrumenteve (interferometrikë me me skanim të gjatësisë së ndërlidhjes) pa kontakt (ISO 25178-604:2013)
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 604: Design and characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments (ISO 25178-604:2025)
Ky dokument specifikon karakteristikat e projektimit dhe metrologjike të instrumenteve të interferometrisë me skanim koherence (CSI) për matjen sipërfaqësore të topografisë sipërfaqësore. Meqenëse profilet e sipërfaqes mund të nxirren nga të dhënat e topografisë sipërfaqësore, metodat e përshkruara në këtë dokument janë të zbatueshme edhe për matjet e profilizimit.
English