This document specifies the design and metrological characteristics of coherence scanning interferometry (CSI) instruments for the areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from surface topography data, the methods described in this document are also applicable to profiling measurements.
Specifikime gjeometrike të produktit (GPS) - Cilësia e sipërfaqes: Areal - Pjesa 604 : Karakteristikat nominale të instrumenteve (interferometrikë me me skanim të gjatësisë së ndërlidhjes) pa kontakt (ISO 25178-604:2013)
English