Specifikime gjeometrike të produktit (GPS) - Struktura e sipërfaqes: Metoda Areal - Pjesa 603 :Karakteristikat nominale të instrumenteve (mikroskopët interferometrik me interval faze) pa kontakt (ISO 25178-603:2025)
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Design and characteristics of non-contact (phase shifting interferometry) instruments (ISO 25178-603:2025)
Ky dokument specifikon karakteristikat e projektimit dhe metrologjike të instrumenteve të interferometrisë me zhvendosje faze (PSI) për matjen sipërfaqësore të topografisë sipërfaqësore. Meqenëse profilet e sipërfaqes mund të nxirren nga të dhënat e topografisë sipërfaqësore sipërfaqësore, metodat e përshkruara në këtë dokument janë të zbatueshme edhe për matjet e profilizimit.
English