SSH EN ISO 23216:2022

Shtresa të holla me bazë karboni - Përcaktimi i vetive optike të shtresave të holla amorfe të karbonit me anë të elipsometrisë spektroskopike (ISO 23216:2021)

Carbon based films - Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry (ISO 23216:2021)

Scope

Ky dokument specifikon elipsometrinë spektroskopike për përcaktimin e vetive optike (indeksi i thyerjes n dhe koeficienti i zhdukjes k) dhe klasifikimin optik të llojeve të ndryshme të shtresave të holla të karbonit amorf brenda planit n–k.
Është i zbatueshëm për shtresat e holla të karbonit amorf të depozituara me anë të avullimit të jonizuar, spërkatjes, depozitimit me hark elektrik, depozitimit kimik nga faza e avullit i asistuar nga plazma, teknikave me filament të nxehtë dhe metodave të tjera.
Nuk zbatohet për shtresat e holla të karbonit të modifikuara me metale ose silikon, për shtresat e holla të karbonit amorf që paraqesin një gradient përbërjeje ose vetish përgjatë trashësisë, si dhe për bojërat dhe llakët.