SSH ISO 21466:2019

Analiza e mikrorrezes - Mikroskopi elektronik skanues - Metoda për vlerësimin e dimensioneve kritike nga CD-SEM

Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM

Publication date: 30 tet 2023

General information

Current stage: 60.60 Effective date: 31 tet 2023

Next stage: 95.99

Originator: DPS

Owner: DPS/KT 302

Type: International Standard

ICS: 37.020

Gjuha: anglisht

Buying

Statusi: Publikuar

PDF - 4 938 Lekë

Paper - 4 938 Lekë

CD - 4 938 Lekë

PDF and Paper - 9 876 Lekë

Language

Language in which you want to receive the document.

Scope

Ky dokument specifikon modelin e strukturës me parametrat përkatës, formatin e skedarit dhe procedurën e përshtatjes për karakterizimin e vlerave të dimensioneve kritike (CD) për vaferën dhe maskën fotografike duke imazhuar me një mikroskop elektronik të skanimit të dimensioneve kritike (CD-SEM) nga biblioteka e bazuar në model (MBL) metodë. Metoda është e zbatueshme për përcaktimin e gjerësisë së linjës për ekzemplarin, si p.sh., porta në vafer, fotomaskë, model i veçorive të linjës së vetme të izoluar ose të dendur deri në madhësinë 10 nm.

Life cycle

NOW

PUBLISHED
SSH ISO 21466:2019
60.60 Standard published
31 tet 2023

Related project

Adopted from ISO 21466:2019

Preview

Only informative sections of projects are publicly available. To view the full content, you will need to members of the committee. If you are a member, please log in to your account by clicking on the "Log in" button.