SSH ISO 23420:2023

Analiza e mikrorrezes - Mikroskopi analitike elektronike - Metoda për përcaktimin e rezolucionit të energjisë për analizën e spektrit të humbjes së energjisë së elektroneve

Microbeam analysis — Analytical electron microscopy — Method for the determination of energy resolution for electron energy loss spectrum analysis

Scope

Ky dokument specifikon një procedurë përcaktimi të rezolucionit të energjisë në mikroskopin elektronik të transmetimit skanues ose në mikroskopin elektronik të transmetimit të pajisur me spektrometrin e humbjes së energjisë elektronike (EEL). Ky dokument është i zbatueshëm si për spektrometrin EEL të tipit brenda kolonës ashtu edhe për spektrometrin EEL të tipit pas kolonës. Këto sisteme të zbulimit të sinjalit EEL janë të zbatueshme për një sistem zbulimi paralel dhe një sistem zbulimi seral