Publikuar
This document specifies a determination procedure of energy resolution in the scanning transmission electron microscope or the transmission electron microscope equipped with the electron energy loss (EEL) spectrometer.
This document is applicable to both in-column type EEL spectrometer and post-column type EEL spectrometer. These EEL signal detecting systems are applicable to a parallel detecting system and a serial detecting system.
PUBLISHED
ISO 23420:2021
60.60
Standard published
23 pri 2021
Analiza e mikrorrezes - Mikroskopi analitike elektronike - Metoda për përcaktimin e rezolucionit të energjisë për analizën e spektrit të humbjes së energjisë së elektroneve
60.60 Standard published