IEC 63229: 2021 (E) jep udhëzime për përcaktimin dhe klasifikimin e defekteve në filmin epitaksial GaN të rritur në substrat SiC. Ato identifikohen dhe përshkruhen në bazë të shembujve, kryesisht nga ilustrimet skematike, imazhet e mikroskopit optik dhe imazhet e mikroskopit elektronik transmetues për këto defekte. Ky dokument mbulon vetëm defektet në filmin epitaksial GaN të rritur në substratin SiC dhe nuk përfshin defektet e shkaktuara nga proceset pasuese.
Life cycle
NOW
PUBLISHED SSH IEC 63229:2021 ED1 60.60
Standard published 23 qer 2022
English