SSH IEC 62047-28:2017 ED1

Pajisje gjysmëpërçuese - Pajisjet mikro-elektromekanike - Pjesa 28: Metoda e provës së performancës së pajisjes së grumbullimit të energjisë elektret të MEMS-së së drejtuar nga vibrimet

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 28: Performance testing method of vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices

Scope

IEC 62047-28:2017(E) specifikon termat dhe përkufizimet, si dhe një metodë testimi të performancës së pajisjeve të grumbullimit të energjisë elektrike MEMS të drejtuara nga vibrimet për të përcaktuar parametrat karakteristikë për konsumatorin, industrinë ose çdo aplikacion. Ky dokument zbatohet për pajisjet e grumbullimit të energjisë elektrike të drejtuar nga dridhjet, elektrodat e të cilave me një boshllëk nën 1 000 μm janë të mbuluara nga materiali dielektrik me ngarkesa të bllokuara dhe janë fabrikuar nga proceset MEMS si gravimi, fotolitografia ose depozitimi.