SSH EN 62047-25:2016

Pajisje gjysmëpërçuese - Pajisjet mikro-elektromekanike - Pjesa 25: Teknologjia e fabrikimit të SMEM (sistemet mikroelektromekanike) me bazë silikoni - Metoda e matjes së rezistencës në tërheqje - shtypje dhe prerje në mikro zonën e ngjitjes

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area

Scope

IEC 62047-25:2016 specifikon metodën e proves në vend për matjen e rezistencës së lidhjes së zonave të mikro lidhjeve e cila fabrikohet nga teknologjitë e mikromakinave të përdorura në sistemin mikroelektromagnetik me bazë silikoni (MEMS). Ky document është i aplikueshëm për matjen e rezistencës në vend në shtypje -tërheqje dhe prerje të zonave me mikrolidhje të fabrikuara nga procese të teknologjisë mikroelektronike dhe teknologjisë tjetër të mikromakinave