SSH IEC 62047-42:2022 ED1

Pajisje gjysmëpërçuese - Pajisjet mikroelektromekanike - Pjesa 42: Metodat e matjes së karakteristikave të konvertimit elektro-mekanik të konsolës piezoelektrike MEMS

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 42: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever

Scope

IEC 62047-42:2022 specifikon metodat e matjes së karakteristikave të konvertimit elektro-mekanik të filmit të hollë piezoelektrik në mikrokantilever, i cili është një strukturë tipike e mikrosensorëve aktualë dhe mikroaktivizuesve. Për të marrë koeficientin aktual dhe të saktë piezoelektrik të filmave të hollë piezoelektrikë me struktura mikropajisje, dhe ky dokument raporton skemën për të përcaktuar parametrat karakteristikë për konsumatorin, industrinë ose çdo aplikim tjetër të pajisjeve piezoelektrike. Ky dokument zbatohet për filmat e hollë piezoelektrikë në mikrokantilorë të prodhuar nga procesi MEMS.