Pajisje gjysmëpërçuese - Qarqet e integruara - Pjesa 22-1: Specifikimi i detajuar i paplotësuar për qarqet e integruara me shtresë dhe qarqet e integruara të shtresës hibride në bazë të procedurave të miratimit të aftësive
Semiconductor devices - Integrated circuits - Part 22-1: Blank detail specification for film integrated circuits and hybrid film integrated circuits on the basis of the capability approval procedures