SSH IEC 62047-38:2021 ED1

Pajisje gjysmëpërçuese - Pajisjet mikroelektromekanike - Pjesa 38: Metoda e provës për forcën ngjitëse të pastës së pluhurit metalik në ndërlidhjen MEMS

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 38: Test method for adhesion strength of metal powder paste in MEMS interconnection

Scope

IEC 62047-38: 2021 (E) specifikon një metodë prove për matjen e forcës ngjitëse të pastës së pluhurit metalik në ndërlidhjen elektrike midis sistemeve mikroelektromekanike (MEMS) dhe një bordi qarku. Shembujt tipikë të pastës së pluhurit metalik janë pasta përçuese anizotropike, pasta e saldimit dhe bojërat metalike në shkallë nano. Kjo metodë testimi është e vlefshme për diametrat e pluhurit metalik nga 10 µm dhe 500 µm. Në këtë metodë testimi, një ngarkesë kompresimi njëaksiale aplikohet në pastën pluhur metalik duke përdorur një lente qelqi që simulon një pajisje aktuale MEMS; më pas, forca e ngjitjes matet duke tërhequr thjerrëzën. Kjo metodë e provës është e përshtatshme kur forca e ngjitjes duhet të analizohet duke marrë parasysh zonën aktuale të kontaktit midis pajisjes MEMS dhe grimcave të pluhurit metalik.