SSH IEC 62047-37:2020 ED1

Pajisje gjysmëpërçuese - Pajisjet mikro-elektromekanike - Pjesa 37: Metodat e provës mjedisore të shtresave të holla piezoeletrike të MEMS-it për zbatime në sensorë

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 37: Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application

Scope

IEC 62047-37:2020 specifikon metodat e provës për vlerësimin e qëndrueshmërisë së materialeve piezoelektrike të filmit të hollë MEMS nën stresin mjedisor të temperaturës dhe lagështisë dhe nën stresin dhe sforcimin mekanik, si dhe kushtet e provës për vlerësimin e duhur të cilësisë. Në mënyrë të veçantë, ky dokument specifikon metodat e provës dhe kushtet e provës për matjen e qëndrueshmërisë së një DUT në kushtet e temperaturës dhe lagështisë dhe tensioneve të aplikuara. Më tej zbatohet për vlerësimet e vetive të drejtpërdrejta piezoelektrike në filmat e hollë piezoelektrikë të formuar kryesisht në nënshtresat e silikonit, p.sh. Ky dokument nuk mbulon vlerësimet e besueshmërisë, të tilla si metodat e parashikimit të jetëgjatësisë së një filmi të hollë piezoelektrik bazuar në një shpërndarje Weibull.