Pajisje gjysmëpërçuese - Pajisjet mikro-elektromekanike - Pjesa 30: Metodat e matjes së karakteristikave të shndërimit elektro-mekanik të shtresës së hollë piezoelektrike të MEMS-it
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
IEC 62047-30:2017(E) specifikon metodat e matjes së karakteristikave të konvertimit elektro-mekanik të filmit të hollë piezoelektrik të përdorur për mikrosensorët dhe mikroaktuatorët, dhe skemën e raportimit të tij për të përcaktuar parametrat karakteristikë për konsumatorin, industrinë ose çdo aplikim tjetër të pajisjeve piezoelektrike . Ky dokument vlen për filmat e hollë piezoelektrikë të prodhuar nga procesi MEMS
Life cycle
NOW
PUBLISHED SSH IEC 62047-30:2017 ED1 60.60
Standard published 29 tet 2021
English