SSH EN 62047-26:2016

Pajisje gjysmëpërçuese - Pajisjet mikro-elektromekanike - Pjesa 26: Përshkrimi dhe metodat e matjes për strukturat e mikro kanaleve dhe mikro gjilpërave

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures

Scope

IEC 62047-26:2016 specifikon përshkrimet e strukturave të kanaleve dhe gjilpërave në një shkallë mikrometrike. Në shtesë, ai jep shëmbuj të matjes për gjeometrinë e të dyja strukturave. Për strukturat e kanaleve, ky standard aplikohet për strukturat me gjerësi prej 1 µm deri100 µm; Murret dhe kanalet me gjerësi respektivisht prej 5 µm deri 150 µm; dhe, aspekti i raportit nga 0,006 7 deri 20. Për strukturat e gjilpërave, standardi aplikohet për strukturat me tre ose katër faqe me një lartësi, gjerësi horizontale dhe vertikale prej 2 µm ose më e madhe, dhe me përmasa që përshtaten nga brenda me një kub me brinjë prej 100 µm. Ky standard është i aplikueshëm për projektimin struktural të MEMS dhe vlerësimin gjeometrik mbas proceseve të MEMS